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MIS二極管型氫敏光電開關(guān)傳感器
 
更新時間:2014.11.17 瀏覽次數(shù):
 

  MIS二極管光電開關(guān)的伏安特性對氫氣很敏感,當(dāng)氫氣體積分?jǐn)?shù)改變時,伏安特性會發(fā)生明顯的變化,因而可利用它來檢測氫氣。C-W儲備大學(xué)開發(fā)了帶有加熱器和測溫元件的MIS二極管型微結(jié)構(gòu)氫敏傳感器,為了提高靈敏度和耐久性,電極金屬用PD-AG合金。用集成電路工藝制造出加熱器、測溫元件和MIS二極管,最手用犧牲層工藝從背面將硅片選擇性地減薄。

  這種測氫二極管在正偏或反偏狀態(tài)下都可測氫氣體積分?jǐn)?shù):用恒流源正偏置MIS二極管,其正偏壓降可定量顯示氫氣的體積分?jǐn)?shù);用恒壓源反偏置MIS二極管,反向漏電流可定量顯示氫氣體積分?jǐn)?shù)。

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