半導(dǎo)體陶瓷濕敏元件主要用多孔狀金屬氧化物材料制成。這類(lèi)元件都是利用其表面多孔性來(lái)吸濕，并在吸附水分子后使得其電導(dǎo)率改變這一原理來(lái)檢測(cè)濕度的。
若半導(dǎo)體陶瓷濕敏元件的電導(dǎo)率隨濕度的增加而下降，則稱(chēng)為負(fù)特性濕敏半導(dǎo)體陶瓷;相反，若電導(dǎo)率隨濕度增加而上升，則稱(chēng)為正特性濕重復(fù)半導(dǎo)體陶瓷。
由MGCR2O4-TIO2固熔體組成的多孔性半導(dǎo)體陶瓷濕敏元件是較常用的一種接近開(kāi)關(guān)濕敏器件。這種半導(dǎo)體陶瓷材料的表面電阻值能在很寬范圍內(nèi)隨濕度增加而變小，即使在高濕條件下進(jìn)行多次反復(fù)熱清洗，其性能仍不改變。下面以這種元件為例介紹這類(lèi)濕度接近開(kāi)關(guān)傳感器。 |
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