石英振子式氣體接近開關(guān)傳感器由直徑為數(shù)微米的石英振動盤和制作在盤兩邊的電極構(gòu)成。當振蕩信號加在器件上時，器件會在它的特征頻率發(fā)生共振。振動盤上淀積了有機聚合物，聚合物吸附氣體后，使器件質(zhì)量增 加，從而引起石英振子的共振頻率降低，可通過測定共振頻率的變化來識別氣體。利用這個原理制成的石英振子式氣體接近開關(guān)傳感器，對特定氣體分子的靈敏度高，選擇性好，結(jié)構(gòu)簡單，可在常溫下使用，補充了其他氣體接近開關(guān)傳感器的不足，發(fā)展前景良好。 |
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