Sno2是典型的n型半導(dǎo)體，以sno2為基材制備的氣敏元件是應(yīng)用最廣的一種接近開關(guān)氣敏元件，其檢測氣體的對象包括CH4、C3H8、CO、C2H5OH、H2S等可燃性氣體和呼出氣體中的酒精、NO等。它與其他氧化物半導(dǎo)體氣敏元件相比有以下特點(diǎn)：
1、工作溫度低。其最佳工作溫度在三百度以下，可節(jié)約能源并延長接近一籌莫展關(guān)氣敏元件的使用壽命。
2、在一般檢測范圍內(nèi)，其電阻率變化范圍大，輸出信號(hào)強(qiáng)，無需高倍放大，因而信號(hào)處理較方便。
SNO2元件與空氣中電子親和性大的氣體發(fā)生反應(yīng)，形成吸附氧。這使N型材料的表面空間電荷層的傳導(dǎo)電子減少，從而使器件處于高阻狀態(tài)。在與被測氣體接觸時(shí)，氣體與吸附氧發(fā)生反應(yīng)，將被氧束縛的電子釋放，使表面電導(dǎo)增 加、器件電阻減小。為改變sno2元件的性能，常在sno2材料中加入添加劑，如添加百分之二到百分之五質(zhì)量分?jǐn)?shù)的貴金屬可提高其靈敏度，添加微量衡土元素可大大提高其氣體識(shí)別能力，添加適量的氧化銀以及少量四氯化錫、酸洗石棉則對乙炔有很好的選擇性，添加少量氧化物可改譜其熱穩(wěn)定性及響應(yīng)特性。
Sno2元件可做成燒結(jié)型、厚膜型和薄膜型三種，其中以厚膜型和薄膜型最為常見。 |
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